PVD for Microelectronics: Sputter Deposition Applied to Semiconductor Manufacturing
Ronald A. Powell and Stephen M. Rossnagel (Eds.)Կատեգորիաներ:
Տարի:
1999
Հրատարակչություն:
Academic Press, Elsevier
Լեզու:
english
Էջեր:
1
ISBN 10:
012533026X
ISBN 13:
9780125330268
Սերիաներ:
Thin Films 26
Ֆայլ:
PDF, 24.07 MB
IPFS:
,
english, 1999